実験装置

本研究室ではナノ/マイクロマシンの製作のため、高度な実験設備を所有しております。また、他の学科との連携を計り大型装置を共同利用しています。


 ナノテクノロジー関連実験装置

  • 走査型電子顕微鏡(SEM)
  • マイクロマニピュレータシステム
  • クライオスタット
  • 無振動型真空チャンバー

 マイクロマシン(MEMS)製造装置

  • クリーンルーム(クラス1000)
  • 電子線描画装置(共同利用)
  • 両面マスクアライナ
  • 三元RFスパッタ
  • 電子線蒸着装置(共同利用)
  • プラズマCVD
  • 拡散炉
  • ICP-RIE(共同利用)
  • CMP装置
  • 陽極接合装置
  • ワイヤーボンダ

 その他の実験装置

  • 高速度CCDカメラ
  • レーザーフォーカス変位計
  • 真空蒸着装置
  • 超純水製造装置
  • 写真露光装置
  • 真空雰囲気炉(2500 ℃)