本研究室ではナノ / マイクロマシンの製作のため、高度な実験設備を所有しております。
また、他の学科との連携を計り大型装置を共同利用（*印）しています。
計測関連装置
透過型電子顕微鏡 (TEM)
型式：JEM-2100Plus, JEOL
走査型電子顕微鏡* (SEM)
型式：Versa 3D LoVac, FEI
原子間力顕微鏡* (AFM)
型式：SPM-9700 / SPM-8100FM, SHIMADZU
- 高速度CCDカメラ
- クライオスタット
- アクシスプロ
微笑電子機械システム(MEMS)関連装置
クリーンルーム
クラス：1000
電子線描画装置
物理気相成長装置*
- ワイヤーボンダ
- 三元RFスパッタ